妈妈的爱第5集韩剧微执行器是现代自动控制技术的关键技术。近年来,随着微电子技术和微细加工工艺的快速发展,特别是微纳米技术的蓬勃兴起,为微执行器的开研究提供了有力的技术支持。本书共分9章,系统阐述和介绍了微执行器中电磁型微马达、光学执行器、微阀门、微型泵、生物微执行器、微机械执行器和化学执行器的基本原理、技术基础、制造工艺和应用实例。
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