紧凑型流量控制器（Mass Flow Controller）是基于业内先进的流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。
紧凑型流量控制器 （Mass Flow Controller）是基于 业内 先进 的 流量传感器芯片 技术 ，结合高速采样 处理技术 和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制 的 气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、3 16L 不锈钢气路座、高精度微机电流量 芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。操作使用方便，可任意位置安装 ， 广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。输出信号可选择：4-20mA和1-5V 模拟信号，以及RS485 等 数字通信方式。
半导体加工
分析仪器
燃烧控制器
真空技术
表面处理
食品和制药
化工（石化）等过程控制
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紧凑型流量控制器 产品特点 Feature
温度和压力不敏感
优越的零点稳定性
超快的响应速度
良好的重复性和再现性
多种信号输出方式
配备比例电磁阀
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紧凑型流量控制器产品规格
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参数说明 |
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介质要求 |
洁净干燥无腐蚀性气体 |
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介质种类 |
空气、氮气 、 氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气 等 |
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量 程 |
(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5) SLM |
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精 度 |
0-50℃，读数误差的1%或满量程误差的0.8%，二者取最大值 |
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分辨率 |
至低 0. 01 SCCM |
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响应时间 |
≤0.7S |
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环境条件 |
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介质温度 |
0 ~ 5 0 ℃ |
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工作温度 |
-20 ~ 7 0 ℃ |
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工作湿度 |
1 0 %~ 9 0 %RH （无结冰，无凝露） |
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工作压力 |
0 ~ 1MPa |
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储存温度 |
- 2 0~85℃ |
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电气参数 |
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供电电压 |
DC24V，纹波 ≤50 mV |
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功 耗 |
2.4W |
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启动时间 |
<1s<> |
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预热时间 |
<10ms<> |
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通信接口 模拟信号（ 电流、 电压） |
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接口类型 |
D - SUB 9针 |
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电流信号 |
4-20mA ( 线性对应量程 ) |
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电压信号 |
1 -5V ( 线性对应量程 ) |
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数字 信号 （RS485） |
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接口类型 |
R J 45 、 D-SUB 9针 |
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通信速率 |
4800,9600 ( 默认 ) , 14400 ,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通过指令或者上位机修改） |
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协 议 |
RS485 （默认 M odbus- RTU ，可定制私有协议） |
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设备地址 |
1 ( 默认)-250 ( 可通过指令或者上位机修改) |
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大节点数 |
250 |
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机械参数 |
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接头类型 |
卡套： 8mm 、12mm、 3/8 inch ，快插：6mm，8mm， 其它 可选 |
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主体材质 |
底座： 316 L 不锈钢，外壳：碳钢 |
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密封材质 |
F KM 氟橡胶 |
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重量 |
0.75 kg |
尺寸图 Dimension
安全使用
产品用于有害气体或爆炸性气体时，须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。有关产品应用的新信息，请与厂家联系索取或访问公司网站。强腐蚀性或氟化物气体可能影响产品正常工作，甚至对产品造成毁损。产品经过密封处理并在装箱前进行过防漏试验，在高压下使用必须按照产品使用说明的限制，否则会导致泄漏及安全问题。
注意：未经公司许可，任意改动或不当使用本产品可导致不可预见的损坏、人员伤害及其它有害后果，公司将不负任何责任。
产品保修
产品必须在说明书规定的正常工作条件下，严格按照正确的方法安装、使用并维护保养。产品质量保证期， 从发货之日起提供 365天免费保修。维修或更换的产品，保修期为 90 天或延续原保修期（以更长者为准）。
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1）产品被改变、改装、处于说明书规定的(或之外的)不正常环境及其它任何可被视为非正常使用的情况 ；
2）非本公司原装产品 。
对于产品拆封后的包装箱体、填充材料、防静电袋等废弃物，请按照纸张、塑料和其他垃圾进行分类处理。对于达到使用寿命的产品，请参照国家对电子电器产品的相关报废规定进行处理。
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