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紧凑型流量控制器 （Mass Flow Controller）是基于业内先进的流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、3 16L 不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。操作使用方便，可任意位置安装，广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。输出信号可选择：4-20mA和1-5V 模拟信号，以及RS485 等数字通信方式。

半导体加工
分析仪器
燃烧控制器
真空技术
表面处理
食品和制药
化工（石化）等过程控制

紧凑型流量控制器 产品特点 Feature

温度和压力不敏感
优越的零点稳定性
超快的响应速度
良好的重复性和再现性
多种信号输出方式
配备比例电磁阀

紧凑型流量控制器产品规格

参数说明
介质要求	洁净干燥无腐蚀性气体
介质种类	空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等
量程	(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5) SLM
精度	0-50℃，读数误差的1%或满量程误差的0.8%，二者取最大值
分辨率	至低 0. 01 SCCM
响应时间	≤0.7S
环境条件
介质温度	0 ~ 5 0 ℃
工作温度	-20 ~ 7 0 ℃
工作湿度	1 0 %~ 9 0 %RH （无结冰，无凝露）
工作压力	0 ~ 1MPa
储存温度	- 2 0~85℃
电气参数
供电电压	DC24V，纹波 ≤50 mV
功耗	2.4W
启动时间	<1s<>
预热时间	<10ms<>
通信接口模拟信号（电流、电压）
接口类型	D - SUB 9针
电流信号	4-20mA ( 线性对应量程 )
电压信号	1 -5V ( 线性对应量程 )
数字信号（RS485）
接口类型	R J 45 、 D-SUB 9针
通信速率	4800,9600 ( 默认 ) , 14400 ,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通过指令或者上位机修改）
协议	RS485 （默认 M odbus- RTU ，可定制私有协议）
设备地址	1 ( 默认)-250 ( 可通过指令或者上位机修改)
大节点数	250
机械参数
接头类型	卡套： 8mm 、12mm、 3/8 inch ，快插：6mm，8mm，其它可选
主体材质	底座： 316 L 不锈钢，外壳：碳钢
密封材质	F KM 氟橡胶
重量	0.75 kg

尺寸图 Dimension

安全使用

产品用于有害气体或爆炸性气体时，须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。有关产品应用的新信息，请与厂家联系索取或访问公司网站。强腐蚀性或氟化物气体可能影响产品正常工作，甚至对产品造成毁损。产品经过密封处理并在装箱前进行过防漏试验，在高压下使用必须按照产品使用说明的限制，否则会导致泄漏及安全问题。

注意：未经公司许可，任意改动或不当使用本产品可导致不可预见的损坏、人员伤害及其它有害后果，公司将不负任何责任。

产品保修

产品必须在说明书规定的正常工作条件下，严格按照正确的方法安装、使用并维护保养。产品质量保证期，从发货之日起提供 365天免费保修。维修或更换的产品，保修期为 90 天或延续原保修期（以更长者为准）。

芯笙微纳电子科技有限公司（以下简称芯笙科技）不对安装、拆卸及替换（但并不仅限于安装、拆卸及替换）所导致的任何直接及间接损害和损失承担任何责任。为避免不必要的纠纷，用户应将其有疑问的产品送还公司，公司对问题进行确认后，确定维修或替换。用户承担产品送交芯笙科技的费用及可能风险，芯笙科技承担产品送还客户的费用及可能风险。芯笙科技的所有销售合同认定用户自动接受此保修条件及其中芯笙科技的有限责任。仅芯笙科技有权更改、修订保修条件或决定不执行其条款。